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工业通用技术及设备论文_流体储运装备真空测量

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文章目录

1 传统真空测量装置存在的不足

2 新型真空测量装置的设计

2.1 运行环境分析

2.2 储运介质危险特性分析

2.3 真空测量装置量程设计

2.4 真空测量装置防内漏设计

2.5 真空密封设计

3 结构强度及振动分析

3.1 结构强度分析

3.2 振动特性分析

4 真空测量装置的试验

4.1 漏率检测

4.2 环境试验

4.3 抽真空过程中的真空度持续检测

5 结语

文章摘要:目的对新型流体储运装备真空测量装置的设计和试验进行系统研究，解决传统装置存在的量程不足、残留气体内漏等问题，验证装置漏率在环境试验中的变化，同时开展批量安装及真空测量应用。方法运用FEM对新型真空测量装置的受力进行分析；采用氦质谱仪泄漏检测技术对环境试验前后的新型真空测量装置以及传统样品的漏率进行对比测试。结果新型真空测量装置的初始漏率达到10-10Pa·m3/s；经过环境试验后新型真空测量装置的漏率未发生明显变化，传统装置的漏率在环境试验后明显上升。结论新型真空测量装置所采用的热电偶&热阴极复合真空规，实现了流体储运装备夹层的真空度全量程测量，并满足易燃介质储运过程中的电气防爆要求。所增加的补抽真空结构可以有效防止真空测量装置的残留气体内漏。所采用的“CF法兰+无氧铜”密封结构具有很好环境适应性和较低的真空泄漏风险，同时也首次通过试验验证了真空测量装置的漏率在环境试验过程中的变化。

文章关键词:

论文DOI:10.19554/j.cnki.1001-3563.2022.05.024

论文分类号:TB771

文章来源：《真空科学与技术学报》网址: http://www.zkkxyjsxb.cn/qikandaodu/2022/0324/1134.html